영구자석 동기 직선 전동기의 시스템 수준 모델링, 비선형 시뮬레이션 및 다목적 최적화
1. 시스템 수준 기초 모델링: 회전형 전동기 기반의 등가 직선 모델
반도체 노광 장비의 웨이퍼 스테이지나 고속 정밀 플로터와 같은 초정밀 위치 결정 시스템에서는 영구자석 동기 직선 전동기(PMLSM)가 핵심 구동기로 사용됩니다. 이러한 시스템의 고정밀 제어를 위해서는 전자기적 특성과 기계적 동역학을 정확히 반영하는 수학적 모델이 필수적입니다. 초기 설계 단계 ...
6월 1일 02:01에 게시됨